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| 2003年8月20日 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| オイルレス薄膜ストレインゲージ式 250℃用、高温高精度小形圧力伝送器を開発 |
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(2)化学繊維加工、樹脂成形加工制御用 (3)次世代半導体製造プロセス用高温ガス、高温液流量制御用 (4)バイオ関係等高温圧力計測用 等の各種高温流体の制御用センサとして、小形、高精度、高安全性の機器埋め込み形圧力伝送器が求められてきましたが、適合するものが今日までありませんでした。 一部用途には、従来のオイル封入形が適用されていましたが、精度、形状、安全性等の面で機器組み込み形としての適応性に乏しく、市場からは上記用途を満足させる伝送器の製品化が渇望されていました。 当社はこの点に着目し、当社の固有ダイアフラム一体形薄膜歪抵抗式圧力伝送器の基礎技術を活かし、このたびオイルレス薄膜ストレインゲージ式高温(250℃)高精度小形圧力伝送器の開発に成功したものです。 なお、本製品は大阪府産業技術総合研究所との共同により、平成13年度地域新生コンソーシアム研究開発事業として開発されたものであります。
製品化成功の背景の一つには、高温用特殊薄膜歪抵抗体として高温用特殊金属ダイアフラムに新素材を成膜するための、スパッタリング蒸着の最適条件を確立できたことにあります。 従来形と比較し下記特長を有しています。 従来形は拡散形半導体圧力伝送器(※4)を使用しているため、伝送器の耐熱温度は80℃が限度であり、直接250℃の高温下での計測は不可能でありました。 今回の開発では、センサ部そのものの温度特性が250℃に耐用するものであり、高温下でも直接計測が可能となり、高精度、高速応答性に加え、オイルレス化による小形軽量、高安全性の圧力伝送器の製品化が可能となりました。 従来品との性能比較
生産数量 9月よりサンプル出荷を開始、年内生産数量 50台/月、来年には300台/月まで増産予定。
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以 上
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